表面形态历来是薄膜/涂层材料研究的重点。本实验室相关课题组用等离子体改性技术制备薄膜，以超临界水冷堆不锈钢包壳表面耐蚀涂层氮化物涂层为研究对象，基于材料表面辐照损伤的辐照形貌特征，利用多尺度系统理论，建立一套系统的表面损伤形貌多尺度表征方法，并探究了多种氮化物薄膜的表面辐照损伤机理。并在上述研究的基础上，提出动力学标度理论和结构区域模型理论按时空域进行层级复合的观点。证实了多晶薄膜的晶体各向异性与薄膜生长的物质定向迁移存在强关联。澄清了多晶膜表面动态演化机理，也为实际应用中设计与调控薄膜表面形态及其织构演化提供了理论指导。相关结果分别发表在Applied Physics Letters, 2014, 104, 031602和Applied Physics Letters, 2009, 95, 194104 (1-3)。